Peralatan seri CMP secara independen dikembangkan oleh produsen material semikonduktor LSTD seperti SI, SIC, GaAs, LNP, GAN, CDTE, Diamond, dll. Peralatan daur ulang wafer telah memasuki beberapa perusahaan manufaktur semikonduktor seperti SMIC; Jalur produksi otomatis untuk pemolesan silikon karbida akan dikirim ke pabrik pelanggan untuk produksi uji coba di q 1 2024;
Atas dasar laboratorium asli, jutaan yuan akan diinvestasikan untuk membangun 100.000 level, level 10000, dan 100 kamar bersih dan peralatan pengujian presisi, yang akan diperiksa dan digunakan pada paruh kedua 2024.
6 "/8" SIC Wafer Polishing Line
6 "/8" sic wafer
Kamar Pembersih 100 Kelas
Mesin pembersih multi-slot
Kapasitas inspeksi
