Mesin pemoles mekanis kimia adalah alat uji proses yang digunakan di bidang elektronik dan teknologi komunikasi, ilmu pengetahuan dan teknologi penerbangan dan kedirgantaraan
Gunakan air deionisasi untuk menempelkan wafer silikon atau gunakan wafer silikon adsorpsi vakum untuk memoles, meninggalkan cara tradisional waxing dan menempelkan wafer silikon, yang kondusif untuk pembersihan wafer silikon setelah pemolesan. 2. Dengan fungsi tekanan balik, secara signifikan dapat meningkatkan keseragaman pemolesan. 3. Dilengkapi dengan sistem deteksi titik akhir pemolesan untuk mencegah pemolesan berlebih. Mengambil SiO2 sebagai contoh, WIWNU (ketidakseragaman dalam chip) Kurang dari atau sama dengan 3 persen , WTWNU (ketidakseragaman dalam chip) Kurang dari atau sama dengan 5 persen , dan RMS (20μm ×20μm) kurang dari 0,4nm.
