Mesin Poles Mekanik Kimia Tipe IDP

Setiap pelat tekanan mesin pemoles mekanis kimia seri CP dengan penggerak pelat tekanan independen digerakkan oleh peredam servo terpisah. Berbeda dengan cara mesin CP yang digerakkan oleh rol pemandu pusat digerakkan oleh gesekan, mesin CP penggerak independen pelat tekanan dapat mewujudkan kontrol kecepatan pelat tekanan yang akurat. Pada saat yang sama, karena struktur menghindari kontak gesekan di area pemolesan, pembentukan partikel kristal bubur pemoles berkurang, sehingga kemungkinan polusi partikel dan goresan pada permukaan wafer berkurang; Kecepatan putar setiap pelat penekan mesin IDP dapat diatur secara terpisah. Menurut karakteristik silinder bertekanan dari masing-masing pelat penekan, hasil pemrosesan dalam perbedaan hampir nol antara pelat penekan yang berbeda dapat dicapai dengan penyesuaian yang baik pada kecepatan putaran pelat penekan.

Untuk mesin IDP berukuran besar, positioning dan perpindahan stasiun pelat keramik dapat diwujudkan dengan menambahkan perangkat roller pemandu internal dan eksternal, sehingga dapat mewujudkan bongkar muat dalam satu stasiun. Hal ini juga dapat mewujudkan koneksi beberapa mesin dengan mengintegrasikan manipulator untuk membentuk jalur produksi otomatis.

Mesin pemoles mekanis kimia seri IDP TYPE CP

Tag populer: mesin pemoles mekanis kimia tipe idp, produsen, pemasok, pabrik mesin pemoles mekanis kimia tipe idp Cina